天域半导体碳化硅基地废气治理

    天域半导体是国内半导体行业里，排名前三的碳化硅外延片制造商，其在生产过程中外延检修、清洗、供应间废气，废气成分主要为非甲烷总烃、多种酸雾、氨气等，采用预处理+两级活性炭深度吸附和酸碱塔吸收治理工艺。