方案概述

    在半导体、显示面板的蚀刻工艺以及金属表面处理的磷化流程中,会产生大量含有杂质的废磷酸液。这些废酸若直接作为危废处理,不仅成本高昂,更是对宝贵磷资源的巨大浪费,同时,高浓度磷排放会引发水体富营养化,破坏生态平衡。本方案采用预处理-精密净化分离-除铝设备-低温蒸发设备的方式得到高浓度的磷酸,酸比重≥1.7,铝离子去除率≥70%,回收率≥80%,回用于车间。

 

    预处理单元:通过精密过滤等手段,有效去除废酸中的悬浮颗粒物与胶体杂质。

    核心分离单元:采用国际先进的DTRO膜,选择性分离酸和金属盐离子,实现磷酸与金属杂质的高效分离。

    浓缩提纯单元:将分离后的稀磷酸和除铝设备产生的废水混合后通过节能的MVR(机械蒸汽再压缩)蒸发系统进行浓缩,最后再通过RO卷式膜系统,提取高纯度磷酸。