天域半导体碳化硅外延废气净化实践案例

天域半导体是国内半导体行业知名的碳化硅外延片制造商。在其生产过程中，外延检修、清洗、供应间等环节产生的废气成分复杂，治理难度大。天得一环境科技针对其废气特性量身定制治理方案，实现废气高效净化、稳定达标排放。

一、客户背景

天域半导体专注于碳化硅（SiC）外延片的研发、生产与销售，是第三代半导体材料领域的核心企业，产品广泛应用于新能源汽车、光伏逆变、智能电网等领域。随着产能扩大，废气排放治理成为企业环保合规的重要课题。作为行业代表性企业，天域半导体对环保治理提出了达标、稳定、低耗能、不影响生产的高要求。

二、废气来源与成分

天域半导体生产过程中的废气主要来自三个环节：外延检修、设备清洗、特种气体供应间。

• 有机废气：非甲烃总烃（NMHC）——挥发性有机化合物，单一工艺难以稳定达标
• 酸雾废气：盐酸雾、氯氟酸雾、氢氟酸雾等——具强腐蚀性，需专门耐酸腐材质
• 氨气：具刺激性气味，与酸雾混合后治理复杂

这些废气成分复杂，既有有机物又有无机酸碱，必须采用组合治理方案才能兼顾。

三、治理方案思路

针对废气成分复杂、排放波动大的特点，天得一设计了“预处理 + 酸碱塔吸收 + 两级活性炭深度吸附”的组合治理工艺：

• 预处理：气液分离、降温、均流，保护后续深度处理设备稳定运行
• 酸碱塔：碱塔吸收酸雾，酸塔吸收氨气，实现酸碱分区治理，避免中和反应产生结垢
• 两级活性炭：一级主吸附非甲烃总烃，二级安保层确保达标，双塔可灵活调节延长寿命

具体工艺参数、设备选型及定制化设计细节，欢迎联系天得一技术团队进行详细交流。

四、方案亮点

• ① 组合工艺，全面覆盖：酸碱塔处理无机酸碱废气，活性炭处理有机废气，各单元协同互补，全面覆盖复杂成分。
• ② 两级保障，稳定达标：一级吸附 + 二级安保，前级饱和时二级仍能确保达标，为半导体连续生产提供可靠保障。
• ③ 自动化运行，低运维成本：PLC自动控制，实时监测运行参数，无人值守，与生产线自动化系统无缝对接。

五、治理效果

经运行验证，各项污染物排放浓度均稳定达标，系统运行稳定、维护便利，满足半导体生产线连续运转需求。

六、行业价值

半导体行业是国民经济战略性产业，其废气成分复杂、治理难度大。本案例的成功实施，为半导体行业废气治理提供了可复制的技术路径。随着第三代半导体产业快速发展，碳化硅、氮化镓等产能持续扩张，相应的废气治理需求也将同步增长。

关于天得一

深圳市天得一环境科技有限公司深耕工业废气治理领域20年，在半导体、元器件、化工、电镀、涂装等多个行业积累了丰富的治理经验，致力于为客户提供“气液固能协同治理”的综合解决方案。