天得一采用自研的干式吸附设备（Dry Scrubber），内装我司研制生产的高效吸附剂，吸附剂的种类根据废气的成分定制化设计。主要用于处理Cl₂、HCl、HF、PH₃、SiF₄、NH₃、AsH₃等气体，该设备对废气的净化效率可高达99.9%，干式吸附设备（Dry Scrubber）利用天得一专研的吸附剂净化废气中的有害成分，生成稳定的固态化合物并被牢牢固定在吸附剂内部。

1. 工艺安全性高：全干式、无废水、无明火工艺，从根本上杜绝了危险气体与水接触或燃烧的风险；
2. 程序安全性高：采用自动化控制，进行温度、出入口压力、浓度监测，联动扩撒、降温、报警、停机等多重安全联锁，确保全程受控；
3. 定制化高效净化：针对不同特气定制化设计吸附剂，净化效率可高达99.9%；
4. 节能低碳运行：设备运行不消耗水，且电耗极低，符合绿色低碳的运营目标；
5. 耐腐蚀：采用强化防腐设计，具有优良的耐腐蚀性能；
6. 智控孪生赋能：融合数字孪生与集中智制优势，通过感知矩阵、多维交互、场景化智控等技术，实现设备全生命周期深度赋能；
7. 全生命周期成本最优：采用天得一研制的吸附剂，高效、使用寿命长，在保证性能的同时显著降低耗材更换频率与综合成本。

适用于Semi、FPD、Solar、LED、实验室等生产中IMP、Etch、MOCVD、CVD等工序产生的废气治理。