在半导体与光伏生产的扩散（Diffusion）、化学气相沉积（PECVD/MOCVD）、刻蚀（Etch）、外延（EPI）等关键工序中，会产生H2、SIH4、HCL、TEOS、CO、CH4、C2H6、SiCl₄等多种易燃易爆废气，必须进行高效、稳定的处理。

针对废气的特点，天得一研发电热水洗设备（Heat Wet Scrubber）进行废气处理。电热水洗设备是传统湿式洗涤技术的一种高级演进，专为处理常温下难溶、易结晶或需要特定温度条件才能高效反应的半导体特气而设计。该设备核心原理是先通过电加热高温裂解燃烧废气，然后再通过高效水洗的方式对燃烧产生的尾气进行深度处理，使其达到国家排放标准。电热水洗设备常用于去除1000℃温度内可分解特气成分，对废气的净化效率可高达99.9%。

1. 安全稳定：采用自动化控制，进行温度、压力、流量、液位等监测，联动扩撒、调温、降温、报警、停机等多重安全联锁，确保全程受控；
2. 高效净化：针对不同特气定制化设计，净化效率可高达99.9%；
3. 旋流缓冲：设备增加旋流缓冲，过渡温降，防止粉尘堆积；
4. 耐腐蚀：采用强化防腐设计，具有优良的耐腐蚀性能；
5. 智控孪生赋能：融合数字孪生与集中智制优势，通过感知矩阵、多维交互、场景化智控等技术，实现设备全生命周期深度赋能。

适用于半导体与光伏生产的扩散（Diffusion）、化学气相沉积（PECVD/MOCVD）、刻蚀（Etch）、外延（EPI）等关键工序中，产生H2、SIH4、HCL、TEOS、CO、CH4、C2H6、SiCl₄等多种易燃易爆废气治理。