在芯片、光伏、LED等生产过程中，氢气的使用量逐渐增加，涉及到的制程主要有GaN、MOCVD（金属有机化学气相沉积）等，产生的高浓度氢气和氨气，存在安全风险和臭气超标风险。

针对这一挑战，天得一采用自研的电热水冷设备（HC Scrubber），本设备专门针对氢气、氨气处理设计，核心原理是先通过电加热高温裂解氨气，然后再进入燃烧区域进行高温燃烧，产生的高温尾气经过多级冷凝后达标排放，对废气的净化效率可高达99.9%。

1. 安全稳定：采用自动化控制，进行温度、压力、流量等监测，联动扩撒、调温、降温、报警、停机等多重安全联锁，确保全程受控；
2. 高效净化：针对氢气和氨气定制化设计，净化效率可高达99.9%；
3. 无废水产生：设备无水洗单元，仅使用循环冷却水，不产生废水；
4. 耐腐蚀：采用强化防腐设计，具有优良的耐腐蚀性能；
5. 智控孪生赋能：融合数字孪生与集中智制优势，通过感知矩阵、多维交互、场景化智控等技术，实现设备全生命周期深度赋能。

适用于在芯片、光伏、LED等生产过程中，GaN、MOCVD（金属有机化学气相沉积）等工序产生的高浓度氢气和氨气废气治理。