在太阳能电池、集成电路等高端制造中，PECVD（等离子增强化学气相沉积）等关键工序会产生硅烷（SiH₄）和氨气（NH₃） 等废气。其中，硅烷在空气中会自燃甚至爆炸，氨气则具有强刺激性和毒性，存在严重的安全与污染风险，必须采用高效、定制的方案进行彻底处理。

针对这类废气，天得一研发了新型的硅烷燃烧水洗塔（Si/O/W），设备主要包括：燃烧系统、吸收系统、清灰系统等部分，核心原理是高效燃烧+多级吸收，该设备对废气的净化效率可高达99.99%。

第一阶段：高效燃烧分解 
将含有硅烷等可燃成分的废气导入燃烧室，硅烷接触氧气发生自然反应，生成稳定的固态二氧化硅粉末。同时，废气中可能共存的氢气、磷烷等也一并被氧化。

第二阶段：多级洗涤吸收 
燃烧后的高温气体（含SiO₂粉尘、氨气等）立即进入多级水洗洗涤塔。废气与循环液充分逆流接触，实现冷却、除尘、中和、吸收四重深度净化。

1. 安全性高：采用自动化控制，进行温度、压力监控，采用氮气保护和泄爆装置，确保设备安全稳定运行；
2. 超高净化效率：根据废气特性定制设备功能，采用高效燃烧+多级吸收的协同设计，净化效率可高达99.99%；
3. 结构设计精巧：流程化布局燃烧室、均压室、氮气保护室及多级洗涤室，结构紧凑，气流通畅，实现处理效率最大化；
4. 节能低碳运行：利用硅烷自燃热值，不需要外加燃料，且电耗极低，符合绿色低碳的运营目标；
5. 智控孪生赋能：融合数字孪生与集中智制优势，通过感知矩阵、多维交互、场景化智控等技术，实现设备全生命周期深度赋能。

适用于太阳能电池、集成电路等高端制造中，PECVD（等离子增强化学气相沉积）等关键工序会产生硅烷（SiH₄）和氨气（NH₃） 等废气治理。